Mikrostruktur‑vakuumchuckar

Mikrostruktur‑vakuumchuckar är utvecklade för applikationer med extremt höga krav på precision och varsam hantering. Inom halvledarindustri och mikroelektronik ställs särskilda krav vid bearbetning av wafers, tunna filmer och känsliga substrat, där även minimal deformation är oacceptabel.

Tack vare den mikroporösa spännytan möjliggör mikrostruktur‑vakuumchuckarna en helt plan och jämnt fördelad uppspänning över hela arbetsstyckets yta. Vakuumet uppnår hög effektivitet även när delar av spännytan är fria, vilket gör det möjligt att spänna fast arbetsstycken i olika storlekar på samma platta.

Eftersom sugningen inte sker via spår, hål eller kanaler elimineras risken för att tunna bärare, filmer eller wafers deformeras. Resultatet är stabil, helt plan uppspänning utan mekanisk påverkan.

Fullytssugning med maximal kontroll

Mikrostruktur‑vakuumchuckarna arbetar med fullytssugning, vilket gör att tunna och flexibla material hålls helt plana under bearbetning och mätning.
Den porösa strukturen kan delas upp i separata zoner som var för sig kan förses med vakuum.

Tryckfallet i materialets mikrostruktur gör att fria ytor inte behöver täckas, vilket förenklar hanteringen och reducerar inställningstiderna.

Med rätt styrsystem kan vakuumplattorna även utrustas med funktion för uppvärmning eller kylning av arbetsstycket vid temperaturer upp till 150 grader Celsius.

Material och utföranden

Vakuumplattorna finns med spännytor tillverkade av luftgenomsläppliga material, anpassade efter applikationens krav.

Sinterbrons
Keramik
Aluminium

Specialutföranden finns även för specifika tillämpningar, såsom
Svarta klämytor
Fluorescerande klämytor
Plattor för ljustransmission och optiska applikationer

Fördelar och egenskaper

Deformation av arbetsstycken elimineras
Fullytssugning ger helt plan uppspänning
Hög vakuumeffektivitet även vid delvis täckt spännyta
Genomfräsning möjlig med friktionsförstärkare
Zonindelning för individuell vakuumstyrning
Modulära lösningar för stora uppspänningsytor
Kundanpassade lösningar utformade efter arbetsstycket
METAPOR©‑plattor tillgängliga i olika kvaliteter

Typiska användningsområden

Mät och testförfaranden
Precisionsbearbetning
Tunnväggiga substrat såsom papper, filmer, kretskort, wafers och PCB
Finmekaniska och optiska komponenter
Flexibla material som gummi
Tillverkning av kiselwafer